electron-beam lithography là một từ tiếng Anh, có nghĩa: Phép in mặt bằng tia điện tử, phép quang khắc bằng tia điện tử.
Tanro Dictionary dùng cookie để ghi nhớ tuỳ chọn, đo lượt truy cập và duy trì dịch vụ. Tìm hiểu thêm